電子廠潔凈室

發(fā)布時(shí)間: 2024-09-12 05:43:27

電子無(wú)塵車間:

電子無(wú)塵車間適合行業(yè)有半導(dǎo)體、微電子、電子光學(xué)制造、精密制造、液晶制造、線路板等,一般凈化級(jí)別在10萬(wàn)級(jí)。

電子廠潔凈室

電子無(wú)塵車間基本結(jié)構(gòu):

由EPS凈化板現(xiàn)場(chǎng)吊頂、圍墻拼裝,內(nèi)壁全部作圓弧處理,鋁型材包邊美縫,環(huán)氧自流地坪,杜絕灰塵的積聚。

 

電子無(wú)塵車間凈化原理:

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高校凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?!仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程,即可達(dá)到凈化目的。

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電子無(wú)塵車間特點(diǎn):

1、潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無(wú)塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類無(wú)塵車間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。

2、電子制造廠萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間內(nèi)的噪聲級(jí)(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)

3、電子制造廠無(wú)塵車間垂直流無(wú)塵車間滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流無(wú)塵車間不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。

4、電子制造廠無(wú)塵車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

5、電子制造行業(yè)萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的較大值:

6、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

7、保證供給無(wú)塵車間內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。

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電子無(wú)塵車間送風(fēng)量:           

電子制造行業(yè)無(wú)塵車間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無(wú)水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項(xiàng)較大值:

1、保證電子制造廠無(wú)塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量:

2、根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠無(wú)塵車間的送風(fēng)量:

3、向電子制造廠無(wú)塵車間內(nèi)供給的新鮮空氣量:


電子無(wú)塵車間等級(jí)說(shuō)明:

等級(jí)

等級(jí)說(shuō)明及車間應(yīng)用

10級(jí)

這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)

100級(jí)

很多人認(rèn)為,這一級(jí)無(wú)塵車間是較常用因而是較重要的無(wú)塵車間,人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無(wú)菌室,以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求,100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療

1000級(jí)

這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等

10000級(jí)

萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用

100000級(jí)

十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車間

 

電子無(wú)塵車間潔凈級(jí)別表:

潔凈度級(jí)別

塵粒較大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù)

≥5μm塵粒數(shù)

微生物較大允許數(shù)浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100級(jí)

3500

0

5

1

10,000級(jí)

350000

2000

100

3

100,000級(jí)

3500000

20000

500

10

300,000級(jí)

10500000

60000

1000

15

 

電子無(wú)塵車間凈化參數(shù):

換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000級(jí)≥30次;

壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa;

平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃;

濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電;

噪聲≤65dB(A);

新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。

電子無(wú)塵車間方案一:

組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口

這是一個(gè)較傳統(tǒng)京哈空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。

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電子無(wú)塵車間方案一特點(diǎn):

建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣就可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠房。

電子無(wú)塵車間方案二:

水冷機(jī)柜+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口

與前種方案比價(jià)破,這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。他可以大大地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或夾層內(nèi)。

電子無(wú)塵車間方案二特點(diǎn):

這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)。具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵廠房。

電子無(wú)塵車間方案三:

分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口

這是較簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)。再柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車間。

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電子無(wú)塵車間技術(shù)參數(shù):


潔凈度懸浮粒子較大允許數(shù)/立方米微生物較大允許數(shù)
≥0.5um≥5um浮游菌沉降菌
靜態(tài)動(dòng)態(tài)靜態(tài)動(dòng)態(tài)cfu/立方米cfu/4h
A級(jí)352035202020<1<1
B級(jí)3520352000292900105
C級(jí)352000352000029002900010050
D級(jí)3520000不作規(guī)定29000不作規(guī)定200100
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